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陶瓷传感器采用标准的陶瓷工艺或其某种变种工艺(溶胶-凝胶等)生产。完成适当的预备性操作之后,已成形的元件在高温中进行烧结。厚膜和陶瓷传感器这二种工艺之间有许多共同特性,在某些方面,可以认为厚膜工艺是陶瓷工艺的一种变型。每种工艺技术都有自己的优点和不足。由于研究、开发和生产所需的资本投入较低,以及传感器参数的高稳定性等原因,采用陶瓷和厚膜传感器比较合理。传感器根据测量目的不同分类物理型传感器是利用被测量物质的某些物理性质发生明显变化的特性制成的。化学型传感器是利用能把化学物质的成分、浓度等化学量转化成电学量的敏感元件制成的。生物型传感器是利用各种生物或生物物质的特性做成的,用以检测与识别生物体内化学成分的传感器。传感器静态特性传感器的静态特性是指对静态的输入信号,传感器的输出量与输入量之间所具有相互关系。因为这时输入量和输出量都和时间无关,所以它们之间的关系,即传感器的静态特性可用一个不含时间变量的代数方程,或以输入量作横坐标,把与其对应的输出量作纵坐标而画出的特性曲线来描述。表征传感器静态特性的主要参数有:线性度、灵敏度、迟滞、重复性、漂移等。
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模拟式又可分为物性型(如自发电式)和结构型两种。常用位移传感器以模拟式结构型居多,包括电位器式位移传感器、电感式位移传感器(见电感式传感器)、自整角机、电容式位移传感器(见电容式传感器)、电涡流式位移传感器(见电涡流式传感器)、霍尔式位移传感器等。数字式位移传感器的一个重要优点是便于将信号直接送入计算机系统(见数字式传感器)。这种传感器发展迅速,应用日益广泛(见感应同步器、码盘、光栅式传感器、磁栅式传感器)。
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线性度:指传感器输出量与输入量之间的实际关系曲线偏离拟合直线的程度。定义为在全量程范围内实际特性曲线与拟合直线之间的大偏差值与满量程输出值之比。灵敏度:灵敏度是传感器静态特性的一个重要。其定义为输出量的增量与引起该增量的相应输入量增量之比。用S表示灵敏度。迟滞:传感器在输入量由小到大(正行程)及输入量由大到小(反行程)变化期间其输入输出特性曲线不重合的现象成为迟滞。对于同一大小的输入信号,传感器的正反行程输出信号大小不相等,这个差值称为迟滞差值。
在选择传感器时,考虑某些特性,具体如下:精度——传感器的精度只要满足整个测量系统的精度要求就可以,不必过高,通常精度越高,其价格越昂贵。线型范围——输入与输出成正比的范围测量环境——一般对温度/湿度量有要求校准——对于大多数测量设备而言必不可少,因为读数会间变化稳定性——传感器使用一段时间后,其性能保持不变的能力称为稳定性。传感器分为以下标准:主要输入数量(被测量者),也称按用途,分为压力敏和力敏传感器、位置传感器、液位传感器、能耗传感器、速度传感器、加速度传感器、射线辐射传感器、热敏传感器等。
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